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    環控產品

    專注于環境監測服務,致力于環保事業發展

    APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統

    產品優勢
    • 可配置液體或氣體樣品

    • 可實現標樣加濕功能

    • 兩級高精度MFC控制

    • 稀釋比高

    • 全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt

    • 可針對不同用戶的稀釋要求定制產品

    在線聯系我們24小時服務電話18653298685
    原理概述

        APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統,是一款具有高精度高稀釋比的升級產品,可稀釋2到15種不同氣體,稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產商,半導體生產商的產品測試及科研院所的科學研究。可根據用戶要求定制。

        特點:

        苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;

        帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度

        高精度質量流量計(MFC),配制氣體濃度精準

        可選配液體標樣稀釋模塊

        功能:

        1、單一/混合氣體配制

        通過質量流量控制器(MFC)順序連接兩種或多種標準氣體,如順序稀釋或產生混合氣體。可以單獨稀釋多種標準氣體,也可以通過同時稀釋多種的標準氣體來產生混合氣體。

        2、蘇瑪罐罐沖

        該系統配備了壓力傳感器,以精確的壓力將稀釋氣體引入罐中。

        3、控制溫度和濕度

        自動調節溫度和濕度,在各種條件下連續產生氣體。

        4、液體標樣氣化稀釋

        可選配液體標樣稀釋模塊

        5、顆粒物發生裝置

        可選配顆粒物發生裝置,模擬各種工況

        以上功能均可根據客戶實際需求組合定制。

        應用:

        傳感器生產商

        半導體生產商

        科研院所

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